真空ロボット「NV320」

当社は、真空環境下での半導体搬送作業を可能とするクリーンロボット
「NV320」を開発した。大きな動作範囲によりウエハの大口径化に対応し、デュアルアームにすることで動作を高速にし、処理時間短縮を達成した。