[ 技術解説 ]
クリーンロボット
-クリーン搬送ロボットソリューション-
広岡 康雄
当社は半導体・液晶製造装置用ロボットにおいて、スイングアーム、マルチリンクアーム、テレスコピック、リニアモーションなど、顧客のニーズに合わせたさまざまなタイプのロボットを開発し、それぞれの特長を生かしたクリーン搬送ロボットソリューションを提供している。本稿では、カワサキクリーンロボットのシリーズおよびその特長について述べる。
当社は半導体・液晶製造装置用ロボットにおいて、スイングアーム、マルチリンクアーム、テレスコピック、リニアモーションなど、顧客のニーズに合わせたさまざまなタイプのロボットを開発し、それぞれの特長を生かしたクリーン搬送ロボットソリューションを提供している。本稿では、カワサキクリーンロボットのシリーズおよびその特長について述べる。