Kawasaki Super Green Product

汎用クリーンロボット NTシリーズ

2015年:初回登録

汎用クリーンロボット NTシリーズ

高速・高精度の搬送システムで業界トップの小型、軽量化を実現

2カセット 4カセット

走行装置を不要とすることで、業界トップの小型・軽量化を実現し、消費電力は従来機比で約40%削減しました。また、出荷梱包容積も従来機比で約75%削減しております。

製品紹介

当社独自の高剛性ギアトレーンにより高速・高精度を実現した、2カセットから4カセットまで対応可能なウェハ搬送用クリーンロボット

特長

  • 動作範囲を拡大し、走行装置をなくすことで、業界トップクラスの小型・軽量化を実現
  • 高効率ギアトレーン採用によるアームと走行レスにより、搬送量当たりの消費電力は従来機より約40%削減