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第178号 ロボットシステム特集号

エッジグリップ装置、及びそれを備えるロボット
-極限の基板搬送スピードを目指して-

[ 特許・実用新案紹介 ]

特許 第5491834号 発明者:橋本 康彦、吉田 俊明

 

 

 

技術の陳腐化が非常に早い半導体業界では、投資を早く回収するために生産速度が重視され、そこで使用されるクリーンロボットには、埃を出さないクリーンさとともに、搬送対象物である基板の搬送スピードが求められる。
基板を速く搬送するためには基板を落とさないようにしっかりと保持する必要があるが、強く保持しすぎて基板を損傷させてはいけない。そのため、図1に示すようにプッシャーで基板を把持して保持する場合、把持時の衝撃緩和のためにプッシャーにバネを内蔵することがあった。しかしバネを用いると振動が収まるまで次の動作に移ることができないため、基板搬送スピードが遅くなることが課題であった。
本発明では、低反発材など、振動が起こりにくい緩衝材をバネの代わりにプッシャーに内蔵することで、基板の損傷を避けつつ高いプッシャーの押し力で基板を確実に保持し、しかもダンピング静定の待ち時間を削減することに成功した。さらに、プッシャーの押し力を高くすることでプッシャーの動作速度も向上した。また、緩衝材をガイド溝に閉じ込めることで埃の発生も抑えている。
本発明によるサイクルタイムの低減は、1回の基板保持動作あたりコンマ数秒というオーダーであるが、短いサイクルタイムで大量生産しており、顧客にとっての価値は計り知れない。このように、顧客にとっての価値を見極めた上での提案力が当社の持ち味であり、クリーンロボットのシェア50%獲得の原動力となっている。

川崎重工技報
川崎重工グループの多彩な製品と、それらを支える様々な先進技術をご紹介する技術情報誌です。

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