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可搬質量60kgの汎用垂直多関節型カワサキクリーンロボット「FC60」を新発売

2001年11月29日

川崎重工は、可搬質量60kgの汎用垂直多関節型カワサキクリーンロボット「FC60」を、12月1日より新発売します。

今回新発売する「FC60」は、標準6軸床置きタイプの汎用クリーンロボットで、可搬質量は「FCシリーズ」の中で最大の60kgです。クラス100(注1)のクリーン環境下での大型ガラス基板搬送、組立作業、ワーク取り出し、収納作業などに幅広く適用可能なロボットです。


なお、「FC60」は、「セミコン・ジャパン2001」(2001年12月5日~7日、於:幕張メッセ)に出展予定です。

商 品 名 FC60
発 売 予 定 日 2001年12月1日
販 売 価 格 500万円
年間販売予定数量 100台


販売価格は、メーカー希望小売価格(オプションおよび消費税を含まず)。
添付写真で、ロボットに装着しているハンドはオプションであり、販売価格には含まれず。


<主な特長>
1) 60kgという余裕のある可搬質量で十分な手首トルクを有しており、第5世代(注2)を超える大型ガラス基板等のハンドリングが可能です。
2) 6軸垂直多関節型ロボット「FCシリーズ」の他機種と同様、手首自由度が高く、3次元軌跡で作業することができ、大型液晶ガラス基板の縦置き搬送が可能です。
3) 設置面積や周辺設備との干渉領域を最小にしつつ、大きなハンドの姿勢変更にも柔軟に対応します。
4) クリーン度はクラス100基準を達成しています(米国Federal Standard 209Eによる表記)。

(注1)
クラス100は、0.5μmのパーティクル(チリなどの粒子)が、1立方フィートに100個以下という基準。
(注2)ガラス基板のサイズで、第5世代は一般的に1,000mm×1,200mmを指します。

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